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半導體制造行業(yè)的氣體監(jiān)測解決方案
2024-10-24
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半導體制造行業(yè)的氣體監(jiān)測解決方案
半導體制造行業(yè)的氣體監(jiān)測解決方案
在半導體行業(yè)生產(chǎn)、制造及儲存等過程中，為了避免這些危險氣體的泄露導致的生命財產(chǎn)損失，需要安裝氣體檢測儀器，來對目標氣體進行檢測。 易燃性氣體 硅烷SiH4是一種易燃、有毒的危害性氣體。硅烷主要用于半導體工業(yè)生產(chǎn)高純多晶硅。 乙硼烷B2H6，極易燃且劇毒，常溫下為無色氣體，用作火箭和導彈的高能燃料。同時用作高純度硼單晶及十硼氫的原料，也用作半導體工業(yè)的摻雜源。 有毒有害氣體 如砷化氫AsH3、磷化氫PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氫HCN、氟化氫HF等，這些氣體一旦發(fā)生泄漏，會對身體產(chǎn)生極大的傷害。 砷化氫AsH3，有劇毒，用于半導體工業(yè)中，如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴散、離子注入、生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與某些元素形成化合物半導體。 磷化氫PH3，是一種無色、劇毒、易燃的儲存于鋼瓶內的液化壓縮氣體。半導體行業(yè)中，主要用于硅烷外延的摻雜劑，磷擴散的雜質源。
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